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  • 新聞詳情

    濺射薄膜壓力敏感元件

    日期:2021-12-15 01:23
    瀏覽次數:2015
    摘要: 壓力敏感元件采用濺射工藝,在壓力介質直接作用的17-4PH不銹鋼膜片上,以分子鍵合的方式制作出“微米”級的電阻膜。再經過微電子工藝制作出需要的惠斯登電橋,組成全金屬型敏感元件,無任何粘貼劑和活動件,無需密封腔和充油腔,因此具有適用惡劣環境和長期穩定性工作的特點, 特點 *長期穩定 *信號線性化 *具有溫度內補償 *小型化(芯片直徑7mm) *具有壓力和溫度一體化雙輸出 薄膜壓力敏感元件焊接型:通過焊接(激光,電子束,微束等...

    濺射薄膜壓力敏感元件


    濺射薄膜壓力敏感元件:壓力敏感元件采用濺射工藝,在壓力介質直接作用的17-4PH不銹鋼膜片上,以分子鍵合的方式制作出微米級的電阻膜。濺射薄膜壓力敏感元件再經過微電子工藝制作出需要的惠斯登電橋,組成全金屬型敏感元件,無任何粘貼劑和活動件,無需密封腔和充油腔,因此具有適用惡劣環境和長期穩定性工作的特點,

    特點

    *長期穩定                            *信號線性化

    *具有溫度內補償                      *小型化(芯片直徑7mm)

    *具有壓力和溫度一體化雙輸出 


    濺射薄膜壓力敏感元件焊接型:通過焊接(激光,電子束,微束等離子,微束亞弧焊)方式實現壓力敏感元件與引壓接頭的連接。

    結構圖:

     

      焊接型(W)                 

    內孔尺寸:5~20bar  4.5mm              35~2200bar   3.5mm

    敏感元件:

                     

                                                  引線示意圖

    惠斯登電橋示意圖:

    引線方式:13為供電激勵源(1:地,3:電源+

              24為信號輸出端

             (15之間為測溫電阻,作為內補償電阻)

    焊點材料:錫/鉛。可直接用烙鐵錫焊(建議使用高溫焊錫)

              鎳。使用超聲壓焊

    濺射薄膜壓力敏感元件技術參數:

    壓力量程(bar):5, 7, 10, 16, 20, 35, 70, 100, 160, 250, 400, 700,1000, 1600, 1800, 2200

    允許過負載(% FS):200%(破壞壓力:10倍滿量程壓力)

    熱零點漂移(%FS℃):小于0.005

    熱靈敏度漂移(%FS℃):小于0.005

    長期穩定性 (%FS/年):小于±0.1

    工作溫度范圍(℃):-70℃~200℃(特殊要求從-100℃~300℃)

    橋臂電阻():3 KΩ~4 KΩ

    絕緣電阻():大于500

    頻率響應:大于10KHZ

    靈敏度(mV/V)及非線性:

    量程(bar

    5

    7

    10

    16

    20

    35

    靈敏度(mV/V

    0.99±0.25

    1.27±0.25

    1.21±0.2

    1.24±0.2

    1.30±0.2

    1.67±0.2

    *大非線性(% FS

    0.4

    0.35

    0.20

    0.15

    0.15

    0.15

     

    量程(bar

    70

    100

    160

    250

    400

    700

    靈敏度(mV/V

    1.81±0.2

    2.26±0.3

    1.98±0.3

    2.19±0.3

    2.13±0.2

    2.26±0.2

    *大非線性(% FS

    0.15

    0.15

    0.15

    0.15

    0.10

    0.10

     

    量程(bar

    1000

    1600

    1800

    2200

    靈敏度(mV/V

    1.33±0.25

    1.40±0.25

    1.08±0.2

    1.32±0.15

    *大非線性(% FS

    0.05

    0.05

    0.05

    0.05

    京公網安備 11010802025758號

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